DLC类金刚石涂层是一种功能良好的耐磨涂层，由于在不同环境下的自润滑性、耐腐蚀、耐磨损以及高化学慵懒等优异功能，DLC涂层作为一种具有潜力的固体润滑资料，在微型机电体系、切削工具、机械密封、生物医学等范畴有着广泛的使用前景。DLC涂层的制备办法主要是物理气相堆积法（PVD）和化学气相堆积法（CVD），不同的制备办法关于DLC涂层的冲突系数影响也有所不同，制备工艺的参数要素关于DLC涂层冲突系数也有较大影响。

 

一、反响气源

 

反响气源的组成对DLC涂层结构影响很大，特别是对DLC涂层的氢气结构有重要影响。

 

首先，原子氢对石墨以及其他非金刚石相碳具有择优刻蚀的效果。堆积金刚石薄膜过程中，在没有超平衡氢原子参与时，甲烷分解为石墨和金刚石键价结构的速率是处于同一个数量级的。可是当甲烷和氢气的混合气体中引入超平衡原子氢后，甲烷的热分解效果和原子氢的刻蚀效果加在一起，就出现了金刚石的成长速率为正，石墨的成长速率为负的情况，即原子氢刻蚀石墨的速度远高于刻蚀金刚石的速度。因而，当反响气源中引入原子氢有利于添加DLC膜中sp3相含量，安稳随机共价键网络，阻止其转化为石墨相。

 

其次，反响气源中氢气比例越高，DLC膜中含氢量越高，越有利于完成超低冲突系数。经过改变DLC膜中的氢含量，冲突因数可改变几个数量级。

 

二、掺杂元素

 

经过掺杂金属或非金属元素，可制备出具有优异强韧化和膜基结合力、低冲突特性以及低环境敏感性集一体的DLC涂层。元素掺杂可以改进DLC膜的冲突学功能，但要关注元素掺杂量。一般来说，元素掺杂都会有一个适合掺杂量规模。例如，掺杂少量N元素可明显下降各种湿度环境下DLC涂层的冲突与磨损，但掺杂很多N元素会使得C含量大幅度下降以及薄膜中碳链或团簇被更多的N原子中断，减小无定形碳对碳膜冲突学功能的贡献，冲突功能变差。

 

三、基体资料

 

采用PECVD技术在聚碳酸酯(PC)树脂片上堆积的DLC涂层冲突因数会下降70%左右，耐磨性有极大的提高；在玻璃上制备的DLC膜冲突磨损功能较差，可能是因为在界面处不能形成过渡反响层。

 

基体资料的外表粗糙度对DLC膜的冲突学功能也有很大影响。作为一种无定型结构，DLC涂层成长时十分接近基体的外表轮廓或者粗糙度。如果是在相似高度抛光的蓝宝石或者硅片这种原子级润滑外表上成长，那么DLC膜的外表也会十分润滑，然后削减机械互锁相应。

 

四、离子能量

 

离子能量即是指偏压，依据相关研讨，跟着偏压升高，DLC涂层含氢量逐渐下降，而且添加sp3含量，可有效改进DLC涂层内应力，增大膜基结合力，其冲突系数远比没有添加偏压时低得多。

 

五、纤细颗粒

 

传统阴极弧堆积办法制备的DLC膜外表可能包括很多的纳米/微米颗粒，添加外表粗糙度。经过添加过滤设备(磁过滤器或机械过滤器)对颗粒进行过滤和阻挡，使薄膜功能得以改进。经过直流或射频等离子辅助化学气相堆积、溅射和离子束堆积等办法也可堆积十分润滑的涂层(纳米尺寸外表粗糙度)，然后削减乃至消除机械互锁效应对DLC膜冲突学功能的影响。